目前等直径硅碳棒的生产工艺有两种，老工艺与新工艺，区别方法在与从烧结方式上。南京半导体外延生长炉老工艺采用的是埋藏反应烧结，新工艺采用的是高温真空炉烧结。由于埋藏烧制需要用煤，对环境有一定的污染，好多都已取缔，大多采用新工艺制作。南京半导体外延生长炉比如在铝厂，玻璃厂，钒氮合金，反光材料产品烧结中会产生一定的腐蚀气体，老工艺比新工艺元件的耐腐蚀性要好。等直径硅碳棒元件是很高的纯度以碳化硅为主要原料，加入工业硅，碳粉等材料。经过成型，烘干，高温烧结等多道工序而制成的一种非金属棒状高温电热元件。

采用新型的燃烧技术，如脉冲燃烧技术、高温空气燃烧技术、富氧燃烧技术等。南京半导体外延生长炉脉冲燃烧技术是近年来开发的一项行之有效的降低氮氧化合物的技术，烧嘴采用间断燃烧的方式，一旦工作，就处于满负荷状态。南京半导体外延生长炉当需要升温时，烧嘴燃烧时间加长，间断时间减少；需要降温时，烧嘴燃烧时间减少，间断时间加长。通过调节燃烧时间的占空比实现窑炉的温度控制，燃料流量可通过压力调整预先设定，无需在线调整，即可实现空气过剩系数的控制。故脉冲燃烧技术传热效率高、能耗低、炉内温度场均匀性好，这些均有利于减少氮氧化合物的生成。

均匀化退火又称扩散退火。南京半导体外延生长炉应用于钢及非铁合金如锡青铜、硅青铜、白铜、镁合金等的铸锭或铸件的一种退火方法。将铸锭或铸件加热到各该合金的固相线温度以下的某一较高温度，长时间保温，然后缓慢冷却下来。南京半导体外延生长炉均匀化退火是使合金中的元素发生固态扩散，来减轻化学成分不均匀性偏析，主要是减轻晶粒尺度内的化学成分不均匀性晶内偏析或称枝晶偏析。均匀化退火温度所以如此之高，是为了加快合金元素扩散，尽可能缩短保温时间

台车式退火炉是通过热处理可以改变钢的组织结构，从而改善钢的性能。南京半导体外延生长炉热处理可以显著提高钢的机械性能，延长机器零件的使用寿命。南京半导体外延生长炉恰当的热处理工艺可以消除铸、锻、焊等热加工工艺造成的各种缺陷，细化晶粒、消除偏析、降低内应力，使钢的组织和性能更加均匀。台车式退火炉处理的均匀钢的化学成分及组织，细化晶粒，调整硬度，并消除内应力和加工硬化，改善钢的切削加工性能并为随后的淬火作好组织准备。生产上常用的退火操作有完全退火、等温退火、球化退火、去应力退火等。