炉壁保温衬里采用复合型耐温材料模块、全密封炉体配以进口高精度温控仪表为控制核心的集散式DCS系统, 相关各炉况参数均实现自动化模糊控制，可靠性高且运行稳定。上海半导体生长炉全炉密封效果好，与同类炉窑相比具有日常运行及后期维护成本低廉的优点。退火炉按热源分类主要有电热炉、燃煤退火炉、燃油退火炉、天然气退火炉、煤气退火炉等，其中以自备煤气发生炉所产煤气退火炉应用最广泛。煤气退火窑减去了燃烧室，直接利用煤气烧嘴在加热室喷射燃烧。上海半导体生长炉为了降低能耗，煤气退火窑往往配有换热系统，将空气转换为助燃热风进行煤气的助燃。

通过风机的循环使退火炉的炉腔内温度分布均匀，退火炉的两个炉腔室是可以独自运行的，提高了退火效率，每个炉腔内都有两台风机，却没有空气过滤装置，跟实际情况有出入。上海半导体生长炉通过风机循环使炉内温度分布均匀，通过热处理重组薄膜材料微观结构，提高稳定性及转化效率。上海半导体生长炉将铸件加热到九百五十摄氏度左右 ，保温一定时间后适当冷却，用以消除钢铁铸件和焊接件的内应力。对于钢铁制品加热后开始形成奥氏体的温度以下一百到二百摄氏度，保温后在空气中冷却，即可消除内应力。

退火炉采用金属热处理退火工艺，将金属缓慢加热到一定温度，保持足够时间，然后以适宜速度冷却。上海半导体生长炉目的是降低硬度，改善切削加工性；消除残余应力，稳定尺寸，减少变形与裂纹倾向；细化晶粒，调整组织，消除组织缺陷。上海半导体生长炉使经过铸造、锻轧、焊接或切削加工的材料或工件软化，改善塑性和韧性，使化学成分均匀化，去除残余应力，或得到预期的物理性能。铸件在冷却过程中，积累了大量的内应力，要通过退火炉来消除内应力。

结构：退火炉炉门采用轻型钢结构骨架，耐火纤维做隔热保温材料2.炉门提升动力：炉门采用电动升降，电动葫芦装在炉门龙门架上方。上海半导体生长炉炉门密封：本炉门采用特殊弹簧与凸轮机构自动压紧和软边密封装置，可使炉门与炉体自动压紧，确保炉子在生产过程中始终处于密封状态，杜绝了高温炉气的外逸，改善了工作环境，保证了炉温均匀性，增强节能效果。这种炉门密封装置结构简单，安全可靠，维修方便。上海半导体生长炉这种机构在近几年生产的全纤维棉台车炉中使用效果很好。

将工件完全奥氏体化后缓慢冷却，接近平衡组织的退火。完全退火奥氏体化温度一般选为Ac3加三十摄氏度到五十摄氏度，对于某些高合金钢，为使碳化物固溶应适当提高奥氏体化温度。为了改善低碳钢的切削性能，可采用九百摄氏度到一百摄氏度的晶粒粗化退火。为了消除亚共析钢锻件、铸件、焊接件的粗大魏氏组织，需将奥氏体化温度提高到一千一百摄氏度到一千两百摄氏度，随后补充进行常规完全退火。 

工件加热到高于Ac3或Ac1的温度，保持适当时间后，较快的冷却到珠光体转变温度区间的适当温度并等温保持，使奥氏体珠光体组织后在空气中冷却的退火。上海半导体生长炉等温退火的奥氏体化温度一般与完全退火相同，对于合金含量较高的大型铸锻件可适当提高加热温度。上海半导体生长炉等温温度越低，退火后的硬度越高。 等温退火后的组织与硬度均匀性优于完全退火，比较适合于与大型合金钢铸件。