退火炉作用是将工件加热到预定温度，保温一定的时间后缓慢冷却的金属热处理工艺。上海半导体外延生长炉具体内容如下：改善或消除钢铁在铸造、锻压、轧制和焊接过程中所造成的各种组织缺陷以及残余应力，防止工件变形、开裂。软化工件以便进行切削加工。上海半导体外延生长炉98彩票线路导航细化晶粒，改善组织以提高工件的机械性能。为最终热处理淬火、回火作好组织准备。

炉壁保温衬里采用复合型耐温材料模块、全密封炉体配以进口高精度温控仪表为控制核心的集散式DCS系统, 相关各炉况参数均实现自动化模糊控制，可靠性高且运行稳定。上海半导体外延生长炉全炉密封效果好，与同类炉窑相比具有日常运行及后期维护成本低廉的优点。退火炉按热源分类主要有电热炉、燃煤退火炉、燃油退火炉、天然气退火炉、煤气退火炉等，其中以自备煤气发生炉所产煤气退火炉应用最广泛。煤气退火窑减去了燃烧室，直接利用煤气烧嘴在加热室喷射燃烧。上海半导体外延生长炉为了降低能耗，煤气退火窑往往配有换热系统，将空气转换为助燃热风进行煤气的助燃。

完全燃烧：燃料中的全部可燃成分在空气充足的情况下达到完全氧化，上海半导体外延生长炉燃烧产物中没有游离的C及CO、H2、CH4等可燃成分。不完全燃烧：燃料中的可燃成分没有完全氧化，燃烧产物中尚存在一些可燃成分，如游离的C及CO、H2、CH4等。空气过剩系数：燃料完全燃烧需要供应一定量的空气。上海半导体外延生长炉根据燃烧化学反应方程式计算出来的单位燃料完全燃烧时所需的空气量为理论空气量。实际供应的空气量一般大于理论空气量，称为实际空气量。实际空气量与理论空气量的比值称为空气过剩系数。一般气体燃料的空气过剩系数为1.05到1.15。

风温水平降低、喷煤效果差5号高炉风温一直在1200℃以上，但2011年12月至2012年3月由于1号高炉扩容改造造成系流煤气严重不足，甚至热风炉烧炉都不能保证，热风温度下降100℃以上，同时5号高炉不能富氧，造成喷煤效果变差，恶化炉缸工作。上海半导体外延生长炉无计划的频繁休风2012年元月12日，退火炉高炉炉况向凉，风口全部灌死，休风10小时。2012年元月19日，4号、10号风口二套烧坏，炉内大量进水，休风6小时处理。上海半导体外延生长炉2012年元月28日，南料车钢丝绳拉断，休风12小时处理，频繁的无计划休风，加剧了炉况的恶化。