采用新型的燃烧技术，如脉冲燃烧技术、高温空气燃烧技术、富氧燃烧技术等。吉林半导体外延生长炉脉冲燃烧技术是近年来开发的一项行之有效的降低氮氧化合物的技术，烧嘴采用间断燃烧的方式，一旦工作，就处于满负荷状态。吉林半导体外延生长炉当需要升温时，烧嘴燃烧时间加长，间断时间减少；需要降温时，烧嘴燃烧时间减少，间断时间加长。通过调节燃烧时间的占空比实现窑炉的温度控制，燃料流量可通过压力调整预先设定，无需在线调整，即可实现空气过剩系数的控制。故脉冲燃烧技术传热效率高、能耗低、炉内温度场均匀性好，这些均有利于减少氮氧化合物的生成。

若快切阀显示为黄色，换向阀显示为红色X，即是行程不到位，检查行程是否脱离设备，若无脱离，可打开行程开关，检查行程内凸轮是否出现不到位情况，适当调整使之弧度处压上弹簧片即可。吉林半导体外延生长炉若快切阀或换向阀显示为红色或绿色之一，可判定其行程正常，排查重点在动作部分。检查动作部分时，先于现场观察电磁阀两插头是否有一个亮灯，若两个都不亮，则为电气故障。吉林半导体外延生长炉然后，若有一个亮，可把两插头取下，用亮的插头在两个电磁阀插座上轮流插拔试验，若汽缸不动作，则为机械故障。若汽缸动作，则为电气故障。

炉壁保温衬里采用复合型耐温材料模块、全密封炉体配以进口高精度温控仪表为控制核心的集散式DCS系统, 相关各炉况参数均实现自动化模糊控制，可靠性高且运行稳定。吉林半导体外延生长炉全炉密封效果好，与同类炉窑相比具有日常运行及后期维护成本低廉的优点。退火炉按热源分类主要有电热炉、燃煤退火炉、燃油退火炉、天然气退火炉、煤气退火炉等，其中以自备煤气发生炉所产煤气退火炉应用最广泛。煤气退火窑减去了燃烧室，直接利用煤气烧嘴在加热室喷射燃烧。吉林半导体外延生长炉为了降低能耗，煤气退火窑往往配有换热系统，将空气转换为助燃热风进行煤气的助燃。

故障出现后，监控主画面上方会出现报警提示，根据提示内容可初步判定故障设备，报警具体如下：V101阀位报警、V105阀位报警加热段煤气换向报警加热段空气换向报警、保温段煤气换向报警、保温段空气换向报警。吉林半导体外延生长炉其中，V101阀即加热段煤气快切阀，V105阀即保温段煤气快切阀。每一设备由动作部分和阀位反馈部分组成。动作部分由电磁阀带气动元件发生动作。吉林半导体外延生长炉出现上述报警后，首先查看报警设备在监控主画面上显示的颜色，确定其状态。