退火是一种金属热处理工艺，指的是将金属缓慢加热到一定温度，保持足够时间，然后以适宜速度冷却。目的是降低硬度，改善切削加工性；大连半导体外延生长炉消除残余应力，稳定尺寸，减少变形与裂纹倾向；细化晶粒，调整组织，消除组织缺陷。大连半导体外延生长炉准确的说，退火是一种对材料的热处理工艺，包括金属材料、非金属材料。而且新材料的退火目的也与传统金属退火存在异同。在热处理工艺中退火的常用设备是退火炉。

采用新型的燃烧技术，如脉冲燃烧技术、高温空气燃烧技术、富氧燃烧技术等。大连半导体外延生长炉脉冲燃烧技术是近年来开发的一项行之有效的降低氮氧化合物的技术，烧嘴采用间断燃烧的方式，一旦工作，就处于满负荷状态。大连半导体外延生长炉当需要升温时，烧嘴燃烧时间加长，间断时间减少；需要降温时，烧嘴燃烧时间减少，间断时间加长。通过调节燃烧时间的占空比实现窑炉的温度控制，燃料流量可通过压力调整预先设定，无需在线调整，即可实现空气过剩系数的控制。故脉冲燃烧技术传热效率高、能耗低、炉内温度场均匀性好，这些均有利于减少氮氧化合物的生成。

等温式退火是应用于钢和某些非铁合金如钛合金的一种控制冷却的退火方法。大连半导体外延生长炉对钢来说，是缓慢加热到 Ac3亚共析钢或 Ac1共析钢和过共析钢以上不多的温度，保温一段时间，使钢奥氏体化，然后迅速移入温度在A1以下不多的另一炉内，等温保持直到奥氏体全部转变为片层状珠光体亚共析钢还有先共析铁素体；大连半导体外延生长炉过共析钢还有先共析渗碳体为止，最后以任意速度冷却下来通常是出炉在空气中冷却。

操作管理混乱，经验不足。大连半导体外延生长炉一是装料制度变更频繁，且针对性不强，尤其是中心焦炭没有保证；二是炉温控制偏低且波动较大，铁水温度长期在一千四百五十摄氏度以下，硫超标事故经常发生；大连半导体外延生长炉三是日常操作三班不统一且表现为；风量、风压不统一，有的班开得高，有的班开得低，顶压不统一，压差波动大，料线不统一，手动控制比较多，炉料落点难以规范，无规律性；四是退火炉工艺管理粗放，考核不到位，高炉的各项管理精细化程度不够，制度执行不力。