若快切阀显示为黄色，换向阀显示为红色X，即是行程不到位，检查行程是否脱离设备，若无脱离，可打开行程开关，检查行程内凸轮是否出现不到位情况，适当调整使之弧度处压上弹簧片即可。上海半导体外延生长炉若快切阀或换向阀显示为红色或绿色之一，可判定其行程正常，排查重点在动作部分。检查动作部分时，先于现场观察电磁阀两插头是否有一个亮灯，若两个都不亮，则为电气故障。上海半导体外延生长炉然后，若有一个亮，可把两插头取下，用亮的插头在两个电磁阀插座上轮流插拔试验，若汽缸不动作，则为机械故障。若汽缸动作，则为电气故障。

降低硬度，改善切削加工性。消除残余应力，稳定尺寸，减少变形与裂纹倾向；细化晶粒调整组织，消除组织缺陷。上海半导体外延生长炉均匀材料组织和成分，改善材料性能或为以后热处理做组织准备。上海半导体外延生长炉在生产中，退火工艺应用很广泛。根据被加工金属件对退火的不同需求，退火的工艺规范有多种，常用的有完全退火、球化退火、和去应力退火等。

单位质量/体积的燃料完全燃烧，上海半导体外延生长炉当燃烧产物冷却到燃烧前的温度时所放出的热量一般室温25摄氏度。上海半导体外延生长炉依据燃烧产物中水蒸气包括燃料中所含水生成的水蒸气和燃料中的氢燃烧时生成的水蒸气的不同形态，分为两种发热量：高温发热量、低位发热量高位发热量高位热值：燃料完全燃烧，燃烧产物中的水蒸汽全部凝结为液态水时所放出的热量低位发热量低位热值：燃料完全燃烧，燃烧产物中的水蒸汽仍以气态存在时所放出的热量。

燃料种类：与燃料热值及燃烧的产物量有关，热值越高、燃烧产物量越低，燃烧温度越高。上海半导体外延生长炉燃料和助燃空气的温度：它们的温度越高，直接带入的显热越多，可提高燃烧温度。上海半导体外延生长炉空气过剩系数：适当的空气过剩系数，可以保证有较高的燃烧温度。一般α略大于1过小，不完全燃烧；过大生成的烟气量多，会使燃烧温度降低助燃风中氧气的浓度：提高氧气浓度，将使燃烧产物减少，可以提高燃烧温度。炉体散热状况及炉内产品传热速度。