石英退火炉关键由炉体、真空系统、料车、冷却水系统、压缩空气系统和电控制系统等构成,接下来为大家叙述下在炉体与发热体的特点:
一、炉体:
炉体主要包含炉壳、炉胆隔热反射面屏、发热器、工件支撑点和料盘构成。炉壳为两层水冷散热套构造,法兰盘、内腔、表面及橡胶支座为碳素钢。筒夹内通过严谨的压力试验和测漏,具备较好的密封性和溫度可靠性。水套内的冷却水循环好,防止炉体温度不匀称及其气温过高对炉体造成影响害。真空室内腔抛光,确保真空泵加温系统软件内洁浄度的一起为加温系统得到较高真空值给予确保。炉体上的其他配件包含真空泵规管、制冷气体回填土阀、充阀门、真空表等。
二、发热器:
98彩票线路导航1、发热器原材料挑选:
真空泵加温的发烫原材料有两大类,金属材质有:镍铬合金铁镍铁合金、钼钨和钽等,非金属材质有碳碳复合材料、高纯石墨等。电热元件材料的选用主要是考虑到石英退火炉较高应用温度,与此同时要合理挑选真空泵下的电热材料工作电压,避免真空泵充放电和电穿透状况,末后明确合适的电热材料表层负载。该机器设备较高溫度1550℃,可考量应用钼、钨、钽和石墨材料。但钨原材料生产加工特性不太好,大容量非晶带材也是较难生产加工,并且原材料成本相对高。钽材生产加工特性优良,并且应用温度高,但原料成本费较贵。因为该系统合理工作中空间大,相对应炉体、隔热保温屏和发热器规格也非常大,假如运用高纯石墨做为发热器原材料,炉盖、隔热保温屏和发热器规格会相对应比金属材料发热器的规格越大,并且价钱高。并且因此该系统软件采用高溫钼原材料做为发热器原材料。
2、发热器产品结构设计:
电热材料挑选好后,就需要依据石英退火炉98彩票线路导航的输出功率和加温室形状、尺寸和类型挑选适宜的发热器构造。
为有利于开展温度均衡性操纵及以后维护保养,在长度方位上采用三段加温的方式,三段独立操纵,高温钼带根据联合分布的高溫钼联接件、质量好的隔缘瓷件与炉胆相互连接。在前后左右炉膛沒有发热器,为确保均控温规格,根据延长正中间筒部三段发热器开展温度补偿。