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目前，高端零部件对炉内气氛的要求很高，一般要求残氧量在10ppm以下露点在-40度以下。炉内气氛的好坏在很大程度上取决于炉子本身的气密性。通常在热处理炉安装结束后，要对炉壳的气密性做打压试验，以确保炉子的气密性。但在以后的生产过程中，由于热胀冷缩，炉体钢结构振动、检修拆装设备、密封件损坏、设备损坏等因素会导致炉壳出现局部泄漏。如果这些漏点没有被及时发现和有效封堵，就会导致热处理炉气密性变差，使炉内的残氧量升高，最终影响产品表面质量。
热处理退火炉内气氛的影响机理
退火炉内的保护气体由氮气和氢气按照一定比例混合而成，起着还原零部件和防止氧化的作用，其主要参数指标有氢气比例露点、残氧量等。
残氧量的影响
98彩票线路导航1）能在低温区富集，可能会在条件适宜时与氢气发生剧烈反应；
2）对零部件表面形成选择性氧化，形成色差等；
3）对炉内耐火材料产生氧化损害，缩短材料的使用周期。
98彩票线路导航改善退火炉内气氛的方法
98彩票线路导航1）建立退火炉气密性检查制度
98彩票线路导航2）确定气密性检查的重点部位
3）确定检测时间、频率、责任和确认人
退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60%。
