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退火炉的工作原理

2020-03-24

退火炉是用于制造半导体器件的过程,该过程包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。 热处理旨在实现不同的效果。 可以加热晶圆以激活掺杂剂,将薄膜转化为薄膜,或者将薄膜转化为晶圆基材界面,制成致密沉积的薄膜,改变生长薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或涂料 药剂从一个膜转移到另一膜或从膜转移到晶片衬底。

退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中,例如氧化,也可以单独处理。 退火炉由专门设计用于加热半导体晶片的设备完成。 退火炉是一种具有超节能结构和纤维结构的节能循环式操作炉,可节电60%。

退火炉是一种金属热处理工艺,可将工件加热到预定温度并在一定时间后缓慢冷却。

详情如下所示:

98彩票线路导航1.改善或消除钢在铸造,锻造,轧制和焊接过程中引起的各种结构缺陷和残余应力,并防止工件变形和开裂。

2.软化要切割的工件。

98彩票线路导航3.细化晶粒并改善结构,以改善工件的机械性能。

4.准备组织进行最终热处理(淬火,回火)。

退火炉的工作原理:

通过风扇的循环,退火炉的炉腔内的温度分布均匀地分布。 退火炉的两个炉腔可以独立运行,提高了退火效率。 每个炉腔中有两个风扇,但没有空气过滤器,与实际情况有所不同。 通过风扇循环使炉内温度分布均匀,并通过热处理重组薄膜材料的微观结构,以提高稳定性和转化效率。 将铸件加热到大约950°C,并在一定时间后冷却以消除钢铸件和焊件的内部应力。 对于钢材,奥氏体开始形成的温度比该温度低100至200°C,冷却后,可通过在空气中冷却来消除内部应力。


退火炉

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