对进入石英退火炉内的气体在质量、数量、压力较强对流球化退火炉层面均有严谨的规定，特别是在质量层面，对纯度、氧气量、水汽含量(漏点)、杂质成分等要求很高。
1、氧含量：为了很好地保证石英退火炉的产品质量，规定炉内气体的氧含量越低越好，不超过lOppm(1ppm=10-3mL／L)，而维护气体进到炉内后会遭受炉口微孔板漏水的危害，氧含量会提升。因此一般规定维护气体在通入炉内以前氧含量≤5ppm。
2、水汽成分：根据石英退火炉炉内气体中水蒸汽的成分是用漏点来表明的，炉气的漏点在条型去应力退火炉后边的制冷段不可以超出-20℃。维护气体吹掺烧内之后与带钢表层的锈迹和渗透到炉内的O2反映，漏点会有些上升，因此规定维护气体在通掺烧内以前漏点须≤-60℃。
3、纯度：气体的纯净自然是越低越好，但还需要考虑到现阶段水准能够做到的纯度。针对纯氮而言，现阶段的方式可以做到99．999％，针对氨溶解电解水制氢而言，现阶段还可以做到99.999％，残留氨≤3ppm。那样的纯度基本上能达到热浸镀锌产品质量的规定。
4、压力：根据石英退火炉炉内须维持正压力才可以使外面的气体不至于入侵炉内，炉内工作压力规定≥5mmH20(ImrnH20-9.8Pa)，一般调节在7～15mrnH20。实际上针对气体而言，这类工作压力是不大的，因此通掺烧内的汽体须有适度的工作压力，无需太高，一般为0.O5MPa。
5、流量：根据石英退火炉内维护空气的流量与炉压有适度的关联，即流量越高，炉压越高。但靠提升通人维护气体的流量来提升炉压的作法是不合理的，那样会引起较大的消耗，确保炉膛的封口实际效果，在这个基础内以确保产品品质为道德底线，明确维护气体的流量。即选用实验的方式，寻找造成欠佳的临界值总流量，再加之恰当的商业保险量，进而获得合理流量。一般石英退火炉的维护气体过氧化物量为15％上下时，每钟头总流量与炉内容积基本相同。提升氡气浓度值可以合理减少总流量，相反氡气浓度值减少时需提升流量。
